日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵

簡要描述：羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。

產(chǎn)品型號： NB100A/300A/600A/1200A

所屬分類：真空泵

更新時間：2024-12-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備

機型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
項目
抽氣速率^*3 m³/h（L/min）		50Hz	95（1580）	280（4670）	500（8330）	1000（16667）
		60Hz	115（1920）	330（5500）	600（10000）	1200（20000）
zui大吸入壓力 Pa （連續(xù)運轉(zhuǎn)時）		50Hz	1.3×10³	1.2×10³	1.3×10³
		60Hz	1.3×10³	9.3×10²	1.1×10³
zui大允許壓力差 Pa （排出壓力-吸入壓力）		50Hz	8.0×10³	4.0×10³	7.3×10³
		60Hz	6.7×10³	3.3×10³	6.0×10³
極限壓力 Pa^*1			4.0×10^‐¹			6.7×10^‐¹
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
電機	kW （極） ^{2 4}		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7（2）
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使用油			ULVOIL^® R-4
所需油量 L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷卻水量 L/min^*6			空冷	2 ^*5	2	3
進(jìn)水壓力 MPa			－		0.3
進(jìn)出水壓差 MPa			－	0.05	0.1
重量 kg			24	49	77.5	110
吸氣口徑（JIS B 2290）			相當(dāng) VG50	相當(dāng) VG80	相當(dāng)VG80	相當(dāng)VG100
排氣口徑（JIS B 2290）			相當(dāng)VF50	相當(dāng)VF80	相當(dāng)VF80	相當(dāng)VF80