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          日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1299次

          日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 一、產品簡介

                  CFB-K系列抗沖擊分子泵轉子采用國家新型加工而成,提高了葉齒強度,分子泵高速旋轉時可以抵抗瞬時5000Pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

           

          日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 二、產品特點

                  具有高壓強、抽速大的特點,對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

           

          日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標

           

          型號

          CFB-1200K

          訂貨號

          3181

          3182

          進氣口法蘭

          LF200

          CF200

          排氣口法蘭

          KF40

          抽氣速率

          L/s

          1200

          壓縮比N2/H2

          1×109/1×104

          極限壓強

          Pa

          5×10-7

          8×10-8   

          電機轉速

          rpm

          24000

          啟動時間

          min

          <5

          軸承

          陶瓷軸承

          前極泵

          L/s

          8-15

          振動值

          μm

          ≤0.1

          冷卻水溫度

          ≤25

          泵體烘烤溫度

          <120

          冷卻水流量

          L/min

          1

          泵口耐壓

          Pa

          7000

          加熱器輸入電壓

          V

          AC220

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~31




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