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          日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1197次

          日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產品簡介

                  CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強了葉片強度、減輕了轉子重量,縮短了啟動時間,降低了機械損耗,增加了使用壽命。

           

          日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數曲圖

                  

           

           

          日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標

           

          型號

          CFB-3600

          進氣口法蘭


          LF400

          排氣口法蘭

          LF100

          抽氣速率

          L/s

          3600

          壓縮比N2/H2

          1×108/5×102

          極限壓強

          Pa

          2×10-6

          電機轉速

          rpm

          12600

          啟動時間

          min

          <10

          停機時間

          min

          <20

          振動值

          μm

          ≤0.15

          前極泵

          L/s

          30-70

          冷卻水溫度

          ≤25

          泵體烘烤溫度

          <120

          冷卻水流量

          L/min

          1

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~100




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