日本ULVAC NB100A/NB300A羅茨泵技術(shù)參數(shù)

羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計(jì)的。 

特長 
結(jié)凈的真空 
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。 
能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)轉(zhuǎn) 
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級(jí)的電機(jī)，即可實(shí)現(xiàn)在高吸入壓強(qiáng)下的運(yùn)轉(zhuǎn)。 

用途 
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備

*1  用皮拉尼真空計(jì)測量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。

*2  電源為AC380V、50Hz、三相。

*3  隨粗抽泵的性能而變化，表中為標(biāo)準(zhǔn)泵的組合的數(shù)據(jù)。

*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機(jī)。

*5  對(duì)于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進(jìn)行連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)必須用水冷。

*6  冷卻水溫為5～30℃。